完全符合國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn) YS/T 13-2007 高純四氯化鍺的檢測(cè)方法。

    本系統(tǒng)組成：本系統(tǒng)包含德國(guó)進(jìn)口紅外光譜儀主機(jī) 1 套，專用的自動(dòng)四氯化硅分析系統(tǒng)一套，適合不同濃度的密閉氣體池 4套，專用的自動(dòng)采樣系統(tǒng) 1 套（實(shí)現(xiàn)在線和離線操作），連接管路1 套，維護(hù)工具包 1 個(gè)，本系統(tǒng)可以達(dá)到在線和離線實(shí)時(shí)檢測(cè)。

    該系統(tǒng)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)多家生產(chǎn)四氯化硅多家企業(yè)成功應(yīng)用，測(cè)試速度快，密閉性無(wú)泄漏，測(cè)試精度高等優(yōu)點(diǎn)得到用戶一致認(rèn)可。填補(bǔ)國(guó)內(nèi)行業(yè)空白。